該系統實現了硅碳棒加熱爐加熱過程的自動化控制與記錄實踐證明.使用該系統后.爐溫的測控水平有了很大的提高新材料IT 0粉的熱處理是生產ITO靶材過程中的重要工序之一,因此熱處理爐爐溫的控制精度及其工作的穩定性在整個ITO產品質量控制中具有舉足輕重的地位。 硅碳棒高溫箱式爐,加熱體為硅碳棒,最硅碳棒高溫度為1600℃,作為新材料IT 0粉的預燒結爐,在實際使用當中,發現實際爐溫與溫控儀表TCW-32B程序溫控儀顯示值不符,如當溫控儀表顯示1400℃,而實測爐溫有時可達到1480℃,技術人員經過多次檢定測試,發現調整檢定合格的TCW-32B程序溫控儀,在爐溫升到1300℃以后,儀表內部基準漂移,顯示誤差大造成了整個控制系統的不穩定、不可靠,導致預燒結的IT 0粉粒徑無法達到IT 0靶材用粉要求;原溫控系統在300℃以下只能手動調節加熱電流,造成預燒爐的硅碳棒經常因為調節電流波動大而斷裂,并且爐溫的加熱速率不穩也導致盛放IT 0粉的柑禍受熱不均勻,易裂,造成原材料浪費,增加了產品成本。此狀況嚴重影響靶材生產,為此我們根據工藝要求設計了硅碳棒高溫箱式爐溫度控制系統。 利用原來六臺控制柜中可用元件(過溫監測儀表、可控硅、空氣開關、控制柜體等),將原來的TCW-32B程序溫控儀改為SR53島電智能儀表,另增加了觸發板、接觸器、按鈕、指示燈等元,SR53智能儀表精度高,具有線性限幅的功能,非常適合加熱元件為硅碳棒加熱爐的溫度控制,可實現升溫全過程自動控制,減少了人為因素,同時還增加了儀表送斷電、加熱/斷電指示、超溫、過流保護,聲光報警等功能。www.reviewszon.com |