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| 用硅溶體對硅碳棒坯體進行浸漬過程的研究 |
用硅溶體對硅碳棒坯體進行浸漬過程的研究結果表明，存在著殘余氣孔率，這主要是受到細孔硅碳棒坯體被半導體純度的高粘度硅溶體浸漬及連通氣孔被二次硅碳棒包覆的動力學所制約。表1中列出了以熱澆注法生產的自結合硅碳棒的某些性能與牌號為OTM-923型最佳化材料的對比情況。
由表1可見，所開發材料的密度相當于自結合硅碳棒的平均值((2.93.1g"cm。以熱澆注法生產的自結合硅碳棒的強度比OTM-923型材料的強度高0.5倍，系由于具有高細分散性微觀組織結構的緣故。同時，由于游離硅的含量偏高，觀察到于1400℃時自結合硅碳棒的強度下降。陶瓷材料具有較高的耐磨性及比OTM-923型材料具有更高的抗氧化性。
對以硅碳棒粉為原料制造的異型硅碳棒坯體進行滲硅處理時，需要使陶瓷中的游離硅含量降到最低限度，減少制品的機械加工量，在某些情況下對于用自結合硅碳棒制造制品時采用硅蒸汽進行滲硅處理是較為有發展前途的工藝。利用加壓成型的及澆注成型的硅碳棒坯體開發了采用半導體純度的硅蒸汽進行滲硅的工藝。硅碳棒坯體在密度、碳含量及幾何尺寸方面是有差異的。作為實例，表2中列出了兩種類型陶瓷的密度和強度。
由表2可見，采用硅蒸汽滲硅方法制造的材料的密度低于以溶體滲硅法制造的制品，這與其中的游離硅含量低有關�？磥�，此類陶瓷的強度較低系由于密度低所致。和以硅溶體滲硅法制造的材料一樣，采用硅蒸汽進行滲硅時所形成的材料則具有主要為閉口式氣孔。
上述材料廣泛地應用于機械制造工業、航辛航天工程、化學工業、裝甲防護裝置和其它制品�？梢圆捎脙煞N成型工藝和兩種滲硅工藝，為開發生產廣泛用途的制品(其中包括形狀復雜的制品)提供了更大的可能性。www.reviewszon.com |
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