從圖4(b>,(d)可以看到硅碳棒工件表面有明顯的劃痕，分析表明其主要原因是:(1>由于W5,W1. 5丸片內含有相對較多的大于標準規格直徑的金剛石硅碳棒磨料，加工過程中在硅碳棒工件表面極易造成劃痕，所以在丸片制作過程中應對使用的金剛石硅碳棒磨料有更為嚴格的篩選措施。(2)劃痕的出現也有可能是由于沒有完全清洗掉上道工序所殘留下的廢料，因此在各道工序間的清洗工作應做到細致認真。
  本文在微觀上對固著硅碳棒磨料加工工藝進行了詳細的理論分析和數值模擬，并簡單介紹了利用此工藝加工反應燒結碳化硅反射鏡的加工過程。在去除率實驗部分的結果顯示隨著硅碳棒磨料粒度的增大，去除率呈現非線性增加。與實驗所獲得的數據相對比，實際去除率與理論值雖有差異，但基本控制在同一數量級內。在表面粗糙度實驗部分，使用W1. 5粒度的丸片最終可獲得粗糙度為Ra一1. 151 nm的光滑表面。在實驗值與理論值結果對比的過程中，兩者的吻合度較高，獲得了較為滿意的結果。
  由固著硅碳棒磨料的工藝原理決定了在加工過程中工藝去除效率的穩定性較高，并且理論模型與最終實驗結果較好的吻合度使得理論模型有了實際應用的意義。從表面粗糙度的實驗結果看，固著硅碳棒磨料的加工工藝可以達到傳統工藝的加工效果。由于固著硅碳棒磨料工藝的加工效率高、成本低，所以此工藝在加工碳化硅反射鏡領域有著極為廣闊的應用前景。www.reviewszon.com